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高剛性研磨機
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高剛性研磨盤:HRG300/HRG300A
高剛性研磨盤:HRG300/HRG300A
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HRG300 既可以對大尺寸晶圓(300 mm)進行單 枚加工,也可以對小直徑工件進行多枚同時加工。
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